环保型硅片清洗装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种环保型硅片清洗装置,包括支架、清洗槽、表面开有孔洞的转筒,清洗槽设置在支架上,清洗槽内设有转筒,清洗槽下方设有电机,电机输出端连接转轴,转轴延伸至清洗槽内,转轴与转筒连接,所述转筒内壁上设有若干个硅片存放装置,所述清洗槽上端设有进水管,清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器,清洗槽外侧设有控制器,温度传感器、加热装置分别与控制器连接,所述清洗槽底部连接出水管,出水管下端连接净化装置,净化装置下端连接排水管,本实用新型解决了清洗装置清洗效果不好、清洗后甩干操作不方便和清洗液直接排放污染环境的问题。 - 佰腾专利检索

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