一种刻蚀硅片的水膜间歇去水装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种刻蚀硅片的水膜间歇去水装置,包括上部的滤水装置和下部的压辊;滤水装置朝向硅片的一面具有条形槽,在条形槽内设置连续的转扇,转扇又包括连接在条形槽上的转轴以及等距分布在转轴上的扇叶,位于条形槽内端处的转扇由电机带动转动,相邻的两个转扇之间相互由扇叶带动转动,扇叶部分位于条形槽外;压辊的轴向上开设线槽,在线槽内设置条形凸起。与现有技术相比,本实用新型的硅片镀完水膜后,经过滤水装置和压辊之间的硅片滤水过道,可以将硅片表面多余的水分给去除,避免多余的水进入硅片的刻蚀槽降低酸度,而具有条形凸起的压辊在转动时可以间歇缩小硅片与转扇的间距,可将刻蚀槽表面积水去除,防止进一步融入酸性溶液。 - 佰腾专利检索

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