一种硅片检测用固定器 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种硅片检测用固定器,包括一个中空桶状的固定器外壳,在固定器外壳的一端设置有一个吸盘,吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接,在固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构,吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆,在吸盘的中部设置有一个拉杆,拉杆与转动杆之间柔性连接;本实用新型通过一个简易的吸盘机构,在对硅片进行转移的同时,可以尽可能的降低手套给硅片带来的污损,本实用新型只通过按压就可以实现对吸盘的固定,操作也更为简易。 - 佰腾专利检索

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