太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶,包括恒温槽、衬套、源瓶本体,所述恒温槽内侧表面设有衬套,源瓶本体设置在恒温槽内,所述源瓶本体上方设有进气口、出气口,进气口通过进气管与源瓶本体连接,所述进气管伸入源瓶本体底部,进气管底端连接开有孔洞的环形扩散管,所述出气口通过出气管与源瓶本体连接,本实用新型解决了源瓶本体内的源利用不充分和溶液在扩散源瓶内不够均匀的问题。 - 佰腾专利检索

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