磁控镀膜机腔罩结构 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开一种磁控镀膜机腔罩结构,包括机壳体,机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出,机壳体内上部为收放区,下部为靶镀区,所述收放区与靶镀区均为弧状空间,收放区的内径大于靶镀区内径,靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构,机壳体的收放区侧壁设有深冷管,机壳体顶部设有气流通道。本实用新型机壳体的收放区与靶镀区设计合理,机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室,具有结构合理、上下膜操作方便、镀膜效率高等优点。 - 佰腾专利检索

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