一种磷扩散用匀流挡板 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型涉及一种磷扩散用匀流挡板，包括方形的匀流板本体，匀流板本体按对角线分成上本体板和下本体板，匀流板本体的四个角设有圆弧倒角，所述上本体板上均匀设有呈喇叭状的孔洞，孔洞包括进气的前孔和出气的后孔，后孔直径大于前孔，所述下本体板两侧设有卡槽，本实用新型解决了气流通过匀流挡板时均匀性不容易控制、匀流挡板容易损坏和扩散时气流容易导致匀流挡板晃动和断裂的问题。 - 佰腾专利检索