半导体六寸线盒子的清洗装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种半导体六寸线盒子的清洗装置,包括流通去离子水的清洗管路一和流通氮气的清洁管路,还包括流通异丙醇的清洗管路二,清洗管路一与清洗管路二在进行清洗前汇流,清洁管路用于对残留的去离子水和异丙醇吹扫清洁。本实用新型能够有效清洁盒子表面较小颗粒及油剂性颗粒,节省氮气使用,降低电力消耗。 - 佰腾专利检索

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