半导体六寸线盒子的清洗装置 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体六寸线盒子的清洗装置，包括流通去离子水的清洗管路一和流通氮气的清洁管路，还包括流通异丙醇的清洗管路二，清洗管路一与清洗管路二在进行清洗前汇流，清洁管路用于对残留的去离子水和异丙醇吹扫清洁。本实用新型能够有效清洁盒子表面较小颗粒及油剂性颗粒，节省氮气使用，降低电力消耗。 - 佰腾专利检索