一种扩散硅片周转盒 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种扩散硅片周转盒,包括两个纵向侧板、两个横向侧板、底板和若干连接柱,在两个纵向侧板的底部均设置有条形的封闭槽A,在底板的横向两端各设有一个与封闭槽A对应的镶嵌条A,在纵向侧板长度方向的两端各设置有一个条形的封闭槽B,在横向侧板的两端各设置有一个与封闭槽B对应的镶嵌条B,在纵向侧板上阵列设置有若干螺纹孔,连接柱的两端通过螺纹与底板两侧的纵向侧板固定连接;本实用新型采用了可拆卸式的结构,方便了周转盒的清理与维护,同时本实用新型采用加工螺纹的连接柱的固定模式,拆卸也更加简易,降低了在一些细节处扩散硅片碎片的清理难度。 - 佰腾专利检索

使用键盘键 进行切换
个性化你的检索平台
有奖
问答
免广告 去掉
广告
联系
我们
专利探索者
群号:580132322
立即加入
专利探索者
媛媛 1402342359
立即咨询
专利探索者
小倩 3326349102
立即咨询
意见
反馈
用户
手册
返回
顶部