硅片分线网切割工艺 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及硅片分线网切割工艺,具有如下步骤:晶块标记需切片部分和无需切片部分;对第一导轮和第二导轮标记需开槽部分和无需开槽部分,第一导轮和的第二导轮仅需开槽部分开有导轮槽,晶块安装在切片机台时通过压线使晶块需切片部分与第一导轮、第二导轮的需开槽部分对应,晶块无需切片部分与第一导轮、第二导轮的无需开槽部分对应。本发明通过重新设计分线网切片工艺中所采用的导轮开槽方式,线网布置快速准确,彻底避免了在分线网处布线时钢线在两导轮上发生错位所引起的隐裂片、厚薄片、线痕片、缺角片和碎片,硅片质量明显改善,这为硅片在电池端的良率进一步提供了保证。 - 佰腾专利检索

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