一种太阳能电池制作方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及一种太阳能电池制作方法,该方法是在电池片表面通过等离子体化学气相沉积法镀膜,在薄膜沉积初期,NH3与SiH4的气体比例控制在1∶0.37左右,采取适当低的等离子体激发能量,沉积低致密性的薄膜,随着薄膜的生长,等离子体激发能量逐渐增加,NH3与SiH4的气体比例逐渐由1∶0.370降低至1∶0.176,在薄膜外层生长出贫硅的氮化硅薄膜,同时随着等离子能量的增强,沉积出的薄膜致密性增加,生产出多层渐进膜。新的PECVD薄膜能够将电池的反射率大幅降低为原有的60%,在此基础上,成品电池片在原有效率上提高∽0.1%,相应的电池组件功率提升1∽2W(60P).整个新生产过程未增加任何附加成本。 - 佰腾专利检索

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