一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及石墨烯制备系统的技术领域,特别涉及到一种等离子体原位刻蚀与辅助生长的石墨烯制备系统,其特征在于:所述系统由机架、高温管式炉、石英管、微波等离子体发生装置、微波等离子体刻蚀装置、磁力杆组成。所述石英管通过支撑机构固定在机架上;所述高温管式炉通过滑动轨道连接在机架上,沿石英管外壁径向移动;所述系统还包括进气组,所述进气组包括气源和进气石英管,所述进气石英管的一端从石英管进样端延伸至石英管中,另一端在石英管外与气源相连;所述微波等离子发生装置包围在石英管外的进气石英管外部;所述微波等离子体刻蚀装置包围在石英管外部,设置在磁力杆和高温管式炉之间。通过控制生长和刻蚀的次数,该系统可以层数可控地制备石墨烯层。 - 佰腾专利检索

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