单晶炉的真空压力传感器的安装结构 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及单晶炉检测设备技术领域,特别是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构,包括三通装置,三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管,直通主管的一端与压力检测口连接,另一端与真空探头连接,支管上具有用于与真空压力传感器连接的快拆法兰装置。在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。本实用新型的有益效果是:通过加装的三通结构,增加了压力检测途径,可方便的与真空压力传感器连接,扩大压力检测范围,当设备故障时可以及时发出警报。同时加装的三通结构增加了检测元件距离压力检测口的距离,减少了粉尘污染,粉尘过滤装置更是进一步保护了真空压力传感器。 - 佰腾专利检索

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