一种单晶炉用涂层热屏 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及单晶炉热屏装置技术领域,特别是一种单晶炉用涂层热屏,包括热屏外层、热屏内层以及热屏内外层之间的保温层,在热屏内、外层表面覆盖热解碳层。本实用新型的有益效果是:1)本热屏表面涂覆的热解碳,极大地增大热场纵向温度梯度,相比现有热屏相比,可使得长晶速度提高20%。2)大大降低了能耗,与现有热场相比能耗降低10%。 - 佰腾专利检索

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