单晶炉防漏装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种单晶炉防漏装置,包括防漏箱体和安装件,防漏箱体通过安装件悬挂在单晶炉的真空管道和管道波纹管下方。在发生漏硅时,承接漏出的硅料,有效的保护了单晶炉内的其它设备的正常运行。 - 佰腾专利检索

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