一种直拉单晶炉用热场 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种直拉单晶炉用热场,热场从上到下,有上保温盖,上保温层,热屏支撑环和保温筒,保温筒分为上保温筒、中保温筒和下保温筒,热场底部具有底部保温层,热场中心设有支承轴,支承轴上具有坩埚托盘,坩埚托盘上依次是碳碳坩埚和石英坩埚,保温筒和碳碳坩埚之间设有加热器,热屏支撑环连接有热屏,热屏为内外两层,中间有碳毡隔热层,上保温层的厚度为20~40mm,上保温筒内径与加热器内径之间的距离5~10mm,底部保温层厚度为100~140mm。本方案通过优化热屏的结构和调整底部保温结构,来改善单晶炉的保温效果,改善热场分布,从而降低能量消耗,本方案相比现有热场能耗降低了30%左右,同时长晶速度也提高了20%。 - 佰腾专利检索

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