用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的限位装置，该限位装置为凸块撞击限位装置，在凸块撞击限位装置的限位凸块两侧都装有缓冲器或橡胶垫。本实用新型的有益效果是：限位装置的改进降低了设备的故障率，减少了维修费用。 - 佰腾专利检索

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