一种单晶炉副室抽真空装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及单晶炉设备领域,特别是一种单晶炉副室抽真空装置。其包括副室手动阀和副室泵,副室泵通过副室手动阀与副室连接,对副室进行抽真空,副室手动阀为定点手动阀。本实用新型的有益效果是:降低由与人员操作问题带来的对生产的影响。 - 佰腾专利检索

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