快速反馈硅液溢流监控装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种快速反馈硅液溢流监控装置,包括由石墨坩埚侧板和石墨坩埚底板构成的石墨坩埚以及放置在石墨坩埚内侧的石英坩埚,所述的石墨坩埚底板下方设置有坩埚支撑块和带控制器的金属熔断丝,所述的坩埚支撑块四周附有耐高温绝缘材料支架,所述的金属熔断丝固定于耐高温绝缘材料支架上。本实用新型当多晶硅铸锭时产生石英坩埚破裂而造成硅液溢流时,能及时发现并让铸锭炉急冷,从而在最大程度上避免了因漏硅而产生的安全风险。 - 佰腾专利检索

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