具有温度检测装置的坩埚喷涂加热旋转台 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及多晶铸锭配套设备技术领域,特别是具有温度检测装置的坩埚喷涂加热旋转台,包括坩埚加热台,旋转机架和电控箱,坩埚加热台设置在旋转机架上旋转,坩埚加热台内具有加热板,加热板与电控箱控制连接,加热板内埋入测量每块加热板温度的热电偶,热电偶与电控箱连接,电控箱根据热电偶测得的温度控制加热板工作。本实用新型的有益效果是:提高了喷涂质量,节约能源。 - 佰腾专利检索

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