太阳电池硅片湿法刻蚀补液装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种太阳电池硅片湿法刻蚀补液装置,包括待刻蚀的硅片和支撑硅片并带动硅片移动的滚轮,硅片下方设有存液槽,硅片上方设有至少两根向硅片正面滴落酸液的补液管道。本实用新型通过设置两根以上的补液管道,在刻蚀过程中向硅片补加新的酸液而来降低刻蚀速率,从而较好地控制刻蚀工艺点,确保刻蚀更加均匀。 - 佰腾专利检索

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