一种用于硅片清洗干燥的热水加热装置 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型涉及一种用于硅片清洗干燥的热水加热装置。包括纯水输送管道、硅片清洗机内的水槽和加热管，纯水输送管道与水槽的进水口连接，向水槽内输入纯水，加热管设置在水槽下部。本实用新型的有益效果是：1、使用热纯水代替了切水剂，从根本上消除了企业的安全隐患；2、通过使用热水的方法使硅片变热，从而进入烘箱时，更易干燥；3、通过使用纯净热水，相当于增加了一道清洗，使发生脏片的概率更低。 - 佰腾专利检索