一种用于硅片清洗干燥的热水加热装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种用于硅片清洗干燥的热水加热装置。包括纯水输送管道、硅片清洗机内的水槽和加热管,纯水输送管道与水槽的进水口连接,向水槽内输入纯水,加热管设置在水槽下部。本实用新型的有益效果是:1、使用热纯水代替了切水剂,从根本上消除了企业的安全隐患;2、通过使用热水的方法使硅片变热,从而进入烘箱时,更易干燥;3、通过使用纯净热水,相当于增加了一道清洗,使发生脏片的概率更低。 - 佰腾专利检索

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