一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构,质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为:在经过表面处理过的硅片正面通过两次对准光刻形成所需SU-8光刻胶结构;通过湿法腐蚀法腐蚀硅片的背面直至蚀穿,得到悬空“卍”字型结构;采用低温阳极键合技术将硅片与玻璃环紧密键合,并粘合到插有光纤的法兰盘上;从被腐蚀的硅片端注入硅油至满,在硅片顶端平插入玻璃片,并用环氧树脂胶粘合。本发明结构新颖,尺寸小,低频响应较为突出,抗电磁干扰,可用于发电机组的振动监测和故障诊断、机床的运动精度测量等应用中。 - 佰腾专利检索

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