一种多晶硅片晶向的检测方法及检测装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明提出一种多晶硅片晶向的检测方法及检测装置。根据本发明的一种方法:对于多晶硅片表面上的晶粒,通过在不同角方向照射晶粒,获得多个反射强度,并依此在极坐标系中绘制出反射图谱;通过将实际得到的反射图谱和参考反射图谱加以比对,即可确定所照射的晶粒的晶向。本发明还公开了用于实施上述方法的相应检测装置。 - 佰腾专利检索

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