一种可以双向使用的石墨舟 - 佰腾专利检索

摘要:

一种可以双向使用的石墨舟,包括阵列设置的舟片,所述舟片上设置有硅片位和电极片,舟片上穿置有固定舟片的陶瓷棒;石墨舟左右两侧均设置有与电极片连接的上电极孔、下电极孔。本实用新型具有结构对称、设计新颖、方便可靠、可实施性强的特点,石墨舟左右两侧对称设计的上电极孔和下电极孔可以避免因石墨舟方向装反导致的无法正常镀膜或者镀膜失败,改进后的石墨舟不分正反面,消除了潜在的失效隐患,提高了镀膜产品的合格率。本实用新型可降低因石墨舟装反导致的镀膜不良,一定程度上降低了生产成本,提高率生产效率,具有很好的经济效益和推广价值。 - 佰腾专利检索

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