一种可以增大产能的新型石英舟 - 佰腾专利检索

摘要:

一种可以增大产能的新型石英舟,包括舟架,所述舟架顶部对称设置有侧挡杆,舟架内壁底部设置有底部挡杆,挡杆上均设置有放置硅片的齿槽,各齿槽的宽度和间隔均相等。本实用新型具有结构紧凑、简单易用、方便可靠的特点,当待扩散的硅片放入石英舟进行高温扩散时,舟架顶部的侧挡杆会有效的阻挡硅片在高温下的横向形变,而减少槽齿间距可以在石英舟上放置更多的硅片,提高产能的同时保证扩散气体在硅片之间的填充效果,保证硅片表面扩散的均匀性。本实用新型降低了硅片高温扩散不均匀的风险,增加量产能,降低了成本,具有很好的推广和应用价值。 - 佰腾专利检索

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