一种新型卸片承载工具 - 佰腾专利检索

摘要:

一种新型卸片承载工具,包括底座,底座上方设置有硅片承载槽,硅片承载槽一侧槽边的高度低于另一侧槽边的高度。本实用新型具有简单易用、方便可靠的特点,硅片承载槽为倾斜设置,可以防止硅片翻落,托手和支撑杆便于卸片承载工具的拿取和搬运,该卸片承载工具使用时先用镊子取出齿槽一侧的所有硅片,然后将承载工具旋转180°,然后卸载石英舟内剩余的硅片,这样卸载的硅片其扩散面的摆放均是一致的,可以极大的方便硅片的存取。该实用新型改善了现有硅片扩散后分片和卸片存在的方向问题,减少了硅片方向弄混的几率,具有很好的经济效益和推广价值。 - 佰腾专利检索

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