一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构及其调节方法 - 佰腾专利检索

摘要：

本发明一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构，包括安装在真空腔体外壁上的第一转动手柄和第二转动手柄、安装在真空腔体内部的传动机构；本发明还包括一种基于上述机构的调节方法，该方法可在大气状态下调节安装在腔体外壁上的转动手柄，通过传动机构传递牵引真空腔体内部活动挡板前后移动从而达均匀性要求，同时根据均匀性变化及时调整，实施简单快捷且效果显著。 - 佰腾专利检索