一种具有轴向高分辨率的反射式共聚焦系统 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明公开了一种具有轴向高分辨率的反射式共聚焦系统,其具有照明光路和成像光路,在照明光路上设有激光器和用于将所述光源发射的光聚焦到待测对象上的成像光学系统,在成像光路上设有接收自待测对象上射回并穿过同样成像光学系统的图像检测器;所述成像光学系统沿激光路径依次设有半反半透镜、检流计振镜组、二分之一波片和四分之一波片,其中,所述二分之一波片仅遮挡激光的一半光路;其中,所述激光器和成像光学系统之间设有第一偏振片,所述成像光学系统和图像检测器设有与第一偏振片偏振方向相同的第二偏振片。本发明能够去除杂散光对成像质量的影响,从而显著提高共焦成像的轴向分辨率和层析能力。 - 佰腾专利检索

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