一种石英坩埚 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及一种石英坩埚,用于装载硅熔液,所述石英坩埚的锅壁分为内层和外层,所述内层和外层的厚度之和即所述锅壁的壁厚基本恒定,所述内层和外层均由石英砂制成,并且所述内层石英砂的纯度高于所述外层石英砂的纯度,所述内层在硅熔液液面预计停留处的厚度增大,所述外层在所述硅熔液液面预计停留处的厚度相应减小。本发明解决的技术问题在于克服采用现有的石英坩埚生成硅单晶体时单晶成品率低且由于现有的石英坩埚用寿命短造成硅单晶体生产效率低、成本仍较高的缺点,提供一种硅单晶体成品率高且生产率高、生产成本低的石英坩埚。 - 佰腾专利检索

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