一种金刚线切割硅片的清洗方法 - 佰腾专利检索

摘要：

本发明涉及切割硅片的后处理技术领域，特别是一种金刚线切割硅片的清洗方法。该方法如下：经过脱胶后的硅片分别在碱性清洗剂和乳酸中进行粗洗，碱性清洗剂的pH=9~10，温度30~50℃，乳酸的温度为60℃，然后分别在碱性清洗剂和纯水中进行精洗，碱性清洗剂的pH=9~10，温度70~90℃。该清洗方法的根本革新在于：通过对硅片清洗液的pH的提高、以及温度的提高，使得其硅片表面更加干净，表面损伤层去除更大，同时对于硅片的碱制绒工艺起到表面活化作用。这样硅片在制绒时，金字塔绒面的覆盖率较高，绒面比较均一。 - 佰腾专利检索