单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及单晶炉检测设备技术领域,特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法,包括真空探头和真空压力传感器,真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上,真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接,当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是:加装的真空压力传感器,在设备故障,导致压力异常时及时报警,防止炉压异常造成的生产损失,杜绝炉压过高时产生的安全隐患。 - 佰腾专利检索

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