用于测试体寿命的硅片及其制作方法和体寿命测试方法 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及硅片体寿命测试技术领域,特别是一种用于测试体寿命的硅片及其制作方法和体寿命测试方法。该用于测试体寿命的硅片,具有多个测试区域,每个测试区域的硅片厚度都不同。该硅片的制作方法:在同一硅片的表面的不同测试区域镀不同厚度的掩膜,然后在腐蚀液中腐蚀掩膜和硅片,直至掩膜全部被腐蚀。利用该硅片测试硅片体寿命的方法:将该硅片作为用于测试体寿命的硅片,然后测试不同区域的有效少子寿命和该区域的硅片厚度,利用变厚法公式得到硅片的体寿命。本发明的有益效果是:在同一块硅片上进行测试,便避免不同硅片之间的差异,得到绝对的体寿命Tau_bulk,节约成本。 - 佰腾专利检索

使用键盘键 进行切换
个性化你的检索平台
免广告 去掉广告
联系我们
专利探索者
群号:580132322
立即加入
专利探索者
媛媛 1402342359
立即咨询
专利探索者
小倩 3326349102
立即咨询
意见反馈
用户手册
返回顶部