低缺陷高产出多晶硅铸锭方法及其热场结构 - 佰腾专利检索

摘要:

本发明涉及一种低缺陷高产出多晶硅铸锭方法及其热场结构,包括保温罩系统,坩埚系统,分体式电阻加热器,支撑部分,冷却装置。通过对3个加热器的分开独立控制,可以在最大程度上降低能耗,而且利于调整长晶界面,获得更为平整的长晶界面,提高晶体质量,也解决了铸锭的高度增加带来的长晶后期散热问题;带独特设计的支撑块和冷却装置联合实现局部冷却,使得在长晶初期坩埚底部局部位置产生冷点,先开始形核,减少了成核点,且获得了横向的温度梯度,为晶核横向长大提供了必备条件,晶粒的增大在很大程度上减少了晶界,降低了位错等微缺陷。 - 佰腾专利检索

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