一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置,包括一石英管,石英管输入端通过第一法兰连接有充气系统,石英管输出端通过法兰分别连接有气压调节器和真空系统,石英管外包围有分段加热装置,分段加热装置包括第一加热装置和第二加热装置,第一加热装置和第二加热装置下方设有滑轨,滑轨上设有可以在该滑轨上滑动的滑块,滑轨一侧设有伸缩气缸,伸缩气缸推动滑块在滑轨上滑动,滑块上固定连接有电机,电机输出转轴固定有锥齿轮,第一加热装置和第二加热装置上设有与该锥齿轮的齿纹啮合的斜齿圈,该锥齿轮转动时通过齿纹与斜齿圈啮合带动第一加热装置和第二加热装置绕石英管轴向旋转,本实用新型能够使得气体均匀分配进而使得石墨烯均匀沉积。 - 佰腾专利检索

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