用于多晶炉的联动抽真空装置 - 佰腾专利检索

摘要：

本实用新型公开了一种用于多晶炉的联动抽真空装置，包括多组抽真空机构，多组抽真空机构和多个多晶炉一一对应，抽真空机构包括真空泵系统、防倒流电磁阀和排外阀，真空泵系统的抽真空口连接防倒流电磁阀后连接至相对应的多晶炉，真空泵系统的出气口连接排外阀后连接至抽空排外管，还包括PLC控制器、真空压力传感器和多个联动不锈钢球阀，每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀，联动不锈钢球阀的一端并接在相应的多晶炉和防倒流电磁阀之间，另一端通过总抽空管并接在一起，真空压力传感器安装在总抽空管上，所述的联动不锈钢球阀和防倒流电磁阀的信号输入端均连接在PLC控制器上，所述的真空压力传感器的信号输出端连接在PLC控制器上。本实用新型能够实现一台真空泵拖动多台多晶炉的联动运行，降低多晶炉运行时的能耗。 - 佰腾专利检索