用于多晶炉的联动抽真空装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种用于多晶炉的联动抽真空装置,包括多组抽真空机构,多组抽真空机构和多个多晶炉一一对应,抽真空机构包括真空泵系统、防倒流电磁阀和排外阀,真空泵系统的抽真空口连接防倒流电磁阀后连接至相对应的多晶炉,真空泵系统的出气口连接排外阀后连接至抽空排外管,还包括PLC控制器、真空压力传感器和多个联动不锈钢球阀,每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀,联动不锈钢球阀的一端并接在相应的多晶炉和防倒流电磁阀之间,另一端通过总抽空管并接在一起,真空压力传感器安装在总抽空管上,所述的联动不锈钢球阀和防倒流电磁阀的信号输入端均连接在PLC控制器上,所述的真空压力传感器的信号输出端连接在PLC控制器上。本实用新型能够实现一台真空泵拖动多台多晶炉的联动运行,降低多晶炉运行时的能耗。 - 佰腾专利检索

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