一种多晶硅铸锭炉的热场结构 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉的热场结构。它包括上炉体和下炉体,上炉体内设有带吊杆的隔热笼和上保温板,下炉体内设有由支柱支撑的下保温板,同时支柱并支撑隔热笼内的工作台,工作台上放置坩埚,坩埚上设置有盖板,盖板上方具有连接于上保温板上的顶加热器,坩埚周围具有连接于上保温板上的侧加热器,工作台与隔热笼之间间隔均匀设有热场分割条,热场分割条通过连接板固定于上保温板上。隔热笼能够有效维持内部的高温环境,减少热量散失;热场分割条的设置使得热场分为上部高温区和下部低温区,有效减少了高温区的体积,能耗可降低近20%;结合工作台四周保温条的设置,使得隔热笼内保持均匀稳定且垂直的温度梯度。 - 佰腾专利检索

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