晶体硅太阳能电池扩散炉 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及太阳能电池生产设备,尤其是一种晶体硅太阳能电池扩散炉。它具有扩散炉管,在扩散炉管和扩散源之间设置有气体缓冲装置,气体缓冲装置的相对两侧分别设有进气孔和出气孔,出气孔通过连接管与扩散炉管的进气口连通。通过气体缓冲装置对扩散源进行充分混合,以提高通入到扩散炉管内扩散源的饱和蒸汽压,从而提高扩散炉管的扩散的掺杂均匀性,且该设备结构简单,安装方便,安全性好。 - 佰腾专利检索

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