一种拆卸辅助工具 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

本实用新型提供了一种拆卸辅助工具。具体的，本实用新型是基于经真空吸附固定连接在承载盘上的石英窗，设计了一款适用于辅助拆卸刻蚀机机台的反应腔腔体内的石英窗装置的拆卸辅助工具。将拆卸辅助工具前爪插进石英窗凹槽内，利用杠杆原理只需很少的力就可将经真空吸附牢牢固定在承载盘上的石英窗慢慢撬起，从而破开真空吸力，即，可轻松拆卸固定吸附在承载盘上的石英窗。同时该机构应用了连杆滑块机构保证前爪垂直向上运动，避免了前爪与石英窗发生相对滑动，导致石英窗磨损。因此，该拆卸石英窗的方法解决了人工徒手拆取作业效率低，且容易造成石英窗损坏与人员受伤的问题，从而达到了既能将石英窗快速取出，又能保护人员和零件安全的效果。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌