研磨液供应装置及研磨系统 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要：

本实用新型提供了一种研磨液供应装置、及研磨系统，其中该研磨液供应装置包括：研磨液供应源，其包含：粗研磨液供应源及细研磨液供应源；及研磨液供应阀，其包含：混合部；第一进料端，设置于该混合部的一端，与该粗研磨液供应源相连接；第二进料端，相对于该第一进料端设置于该混合部的一端，与该细研磨液供应源相连接；及流量控制件，设置于该混合部上。其中：由该研磨液供应装置所制备的研磨液可降低盘面的清洗难度，并减少清洗所需的时间成本，以降低制程工序的复杂度。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

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