一种干法刻蚀机台上静电卡盘与聚焦环端面配合结构 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要：

本实用新型公开了一种干法刻蚀机台上静电卡盘与聚焦环端面配合结构，包括静电卡盘和设于所述静电卡盘外圈的聚焦环，其特征在于：所述静电卡盘包括卡盘本体，卡盘本体上端边缘设有卡盘咬合齿，聚焦环包括聚焦环本体，所述聚焦环本体上端边缘设有与所述卡盘咬合齿交错配合的聚焦环咬合齿。本实用新型干法刻蚀机台上静电卡盘与聚焦环端面配合结构，结构简单，可便于聚焦环定位安装，有效防止聚焦环与静电卡盘间积灰，提高产品均匀性，具有较强的实用性和较好的应用前景。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

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