一种便于定位调整的硅片吸盘结构 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

摘要：

本申请涉及太阳能硅片制造领域，尤其是一种便于定位调整的硅片吸盘结构。便于定位调整的硅片吸盘结构，包括吸盘底座和设置于吸盘底座的吸盘片体，吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道A；吸盘底座顶部开设有与气道A连通的气道B；吸盘底座底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座的安装孔；吸盘底座底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的定位孔组；单个定位孔组中至少包含有两个定位孔；定位孔组中的两个定位孔分别位于吸盘底座底面宽度方向的周侧；单个定位孔设置有调位螺栓。本申请可通过调位螺栓较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率。 - 佰腾网专利查询 - 全球专利搜索领导品牌

一种便于定位调整的硅片吸盘结构
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