一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置 - 专利查询 - 佰腾全球专利搜索平台

摘要：

本实用新型公开了一种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置，包括装置本体，所述装置本体包括主筒体和连接筒体，所述连接筒体焊接在主筒体顶部，所述主筒体和连接筒体均呈圆柱状结构且内部为贯通式结构；所述主筒体表面设有若干组呈列状等距方式分布的散热板，所述散热板呈圆形结构且中部为贯通式结构，所述散热板与主筒体连接处通过焊接方式固定。该种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置可以十分便捷对阳极进行散热工作，从而提高了阳极的使用寿命，且该种半导体等离子尾气处理设备阳极散热装置散热结构简单、成本低，便于大规模进行使用。 - 专利查询 - 佰腾全球专利搜索平台

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