用于清洗机台的叠片检测装置 - 佰腾专利检索

摘要:

实用新型涉及叠片检测技术领域,尤其是涉及一种用于清洗机台的叠片检测装置,包括设于两槽体之间的硅片流动通道处的感应器、连接感应器的控制器,所述感应器固定于支架上;所述支架两边通过紧固件可拆卸连接于槽体上。本实用新型结构简单,使用时无需改变现有清洗机台结构,拆装容易,使用方便,制造成本低,检测效果好,安装的牢固性和稳定性好。 - 佰腾专利检索

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