用于硅片清洗设备的过滤器 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种用于硅片清洗设备的过滤器,属于太阳电池制造设备技术领域,包括罩设于主槽体溢流口处的本体,该本体内形成连通溢流口的引水腔,本体的顶面和侧面上均设有连通引水腔的过滤孔,本体具有连接主槽体的底部。本实用新型具有结构简单,容易实现,且过滤效果好,结构牢固,还能保持液体流通通畅。 - 佰腾专利检索

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