多工艺腔双面镀膜PECVD装置 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种多工艺腔双面镀膜PECVD装置,用于对太阳能电池片表面进行镀膜处理,具有镀膜腔,所述镀膜腔至少包括连续排列的第一工艺腔、第二工艺腔以及尾端工艺腔,第一工艺腔和尾端工艺腔内分别设有镀膜方向相反的等离子发生器,第二工艺腔内近第一工艺腔一侧设有与第一工艺腔镀膜方向相同的等离子发生器,第二工艺腔内近尾端工艺腔一侧设有与尾端工艺腔镀膜方向相同的等离子发生器。本实用新型采用工艺腔模块化组合的方式,实现对太阳能电池片多层双面一次性连续沉积镀膜,避免了不同工艺之间的交叉污染,有利于镀膜技术的量产化作业,可根据制作工艺需要灵活增加或减少工艺腔的数量。 - 佰腾专利检索

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