一体式硅晶片蚀刻浆料清洗机 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种一体式蚀刻浆料清洗机,旨在提出一种能解决硅晶片浆料清洗效率低、工艺稳定性差问题的一体式硅晶片蚀刻浆料清洗机,其中传递装置上均匀布置有硅晶片夹取装置,硅晶片夹取装置可通过传递装置实现向上、下、左、右四个方向上的移动,硅晶片夹取装置下方均设置有可绕中心旋转的轴承,硅晶片夹取装置上方设有与轴承对应的转轴,转轴的端部与相对应的轴承的端部之间转动连接,转轴的上方横置有与转轴转动连接的动力轴,本实用新型能够使得在超声碱液清洗的工序中实现一体式机械化的操作,且改进的硅晶片夹取装置可以完全与现有设备兼容,实施成本低廉,清洗过程高效便捷,节约了宝贵的人力资源,同时保证了硅晶片的工艺质量。 - 佰腾专利检索

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