线锯切割辅助设备 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及晶棒切割设备领域,特别是一种线锯切割辅助设备,其特征是:包括砂浆缸回流箱、清洗液回收缸、双轨式定位轨道和移动接漏车。本实用新型使砂浆流量得到了有效控制、砂浆缸得到了安全定位且不容易损坏,有效避免了清洗液回收时产生的滴溅,稳定了砂浆密度,减少了线路短路概率和设备故障率,可有效配合现场5S管理,提高产品生产效率和产品合格率。 - 佰腾专利检索

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