复合型坩埚侧面护板 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种复合型坩埚侧面护板,包括外壳和保温层,保温层填充在外壳内。外壳为石墨或碳碳复合材料,保温层为石墨软毡或石墨硬毡。本实用新型的有益效果是:通过在侧面护板内填充保温层对护板局部增强保温,减少热量散失,使得坩埚内部的径向温度梯度减小,从而得到有利于提高晶体质量的平坦的固液界面。并且保温材料包裹在护板内部,提高了使用寿命。 - 佰腾专利检索

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