一种多晶炉 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型涉及一种多晶炉,包括保温装置、设于所述保温装置内的加热器及设于所述加热器形成的热场内用于保护及承载石英坩埚的石墨坩埚,所述石墨坩埚包括坩埚本体及位于所述坩埚本体的开口处的盖板,所述盖板固定于所述保温装置的内壁上。本实用新型克服现有的多晶炉的盖板容易损伤、断裂,使用寿命短的缺点,提供一种可大大延长盖板的使用寿命的多晶炉。 - 佰腾专利检索

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