太阳能电池硅片扩散炉 - 佰腾专利检索

摘要:

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散炉,包括炉体,炉体内设有石英舟,硅片放置于石英舟上,炉体上设有用于扩散气体进入炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管,排放管位于石英舟下方,所述的进气管内所流向硅片的扩散气体沿平行于硅片表面的方向流动。本实用新型解决了由于扩散气体在硅片上分布不均而造成的硅片表面方块电阻均匀性较差的问题。 - 佰腾专利检索

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